• 연마 입자 균일성 개선

  • ▪ 연마 속도 및 수율 개선
  • ▪ 안정적인 CMP 공정 보장

• 폐슬러리 Capture 기능

  • ▪ 재생 효율 및 처리 시간 단축
  • ▪ 재생 장치의 수명 연장 및 처리 비용 SAVE

• 화학 조성비 원복 기능

  • ▪ 케미컬 회수처리 재사용으로 환경 보호
  • ▪ 케미컬 처리 비용 절감 효과

• 연마 입자 분리 기술

  • ▪ 연마 입자 간 Large Particle 화 방지
  • ▪ 입자 간 응고에 의한 침전/침하 방지

• 정화 처리

  

  수처리 약품 투입 및 교반으로
  화학적 반응에 의한
  수질 오염 물질 응집 분리 처리방류

  처리 비용상승

• 탈수/매립

  

  반응조에서 생성된 응집물을
  중력 침강에 침전되어 탈수 시스템으로
  이송고형(슬러지)화하여 폐기처리

  ESH 이슈

• 재생처리

  

  슬러리 내의 유효한 연마 입자나 화학물질을
  정제하여 다시 공정에 사용하는데, 이를 위해
  정제공정을 통해 오염물질을 제거하고 순수 슬러리를 얻음

  환경보호 + 비용절감

폐기물을 자원으로
반도체의 미래를 바꾸다

Electric-Sonic 융합 기술로 고효율 재생